扫描电镜（扫描电镜操作步骤）

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1、扫描电镜的电子光学系统包括___、___、___和___。2、扫描电镜的原理3、扫描电镜是用来测什么的

扫描电镜的电子光学系统包括___、___、___和___。

扫描电镜，按其功能划分，由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、真空系统以及电源系统等六个部分组成（图5-1）。

扫描电子显微镜主要组成部分是：电子光学系统，信号收集处理系统，图像显示和记录系统，真空系统，电源及控制系统等。

电子光学系统电子光学系统：包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和图样室电子枪：为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。

扫描电镜基本上是由电子光学系统、信号接收处理显示系统、供电系统、真空系统等四部分组成。图13-2-1是它的前两部分结构原理方框图。电子光学部分只有起聚焦作用的汇聚透镜，它们的作用是用信号收受处理显示系统来完成的。

扫描电镜的原理

扫描电镜原理：所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

扫描电镜的原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

扫描电镜的工作原理 在高压作用下，由于热阴极发射出的电子经阴极、栅极、阳极之间的电场聚焦、加速，在栅极与阳极之间形成一个具有很高能量的电子束斑，称之为电子源。

扫描电镜是用来测什么的

1、扫描电镜是用来测样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。

2、扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面，通过检测样品发射的次级电子、反射电子等信号获取表面形貌和组成信息的电子显微镜。其分辨率高于光学显微镜，能够观察样品表面的纳米级细节，广泛应用于材料、生物、医学等领域。

3、用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

4、⑸化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥（杆菌） 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……）电子材料等。